美國BROOKS氣體質(zhì)量流量計

BROOKS流量計 GF40 系列，采用橡膠密封，使用布魯克斯儀器MultiFlo 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準(zhǔn)確性的同時重新設(shè)定測量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。BROOKS流量控制器流量范圍-滿量程容量：3 sccm - 50 slpm，精度：1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%，控制范圍 2-100%。非常適用于各種氣體，多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet、EtherCAT、Profibus 和 RS-485 模擬接口，多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)。大量應(yīng)用在：太陽能電池化學(xué)氣相沉積，非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)，真空處理，等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)，生命科學(xué)實驗室，納米技術(shù)/MEMS 制造。

一般來說，布魯克斯質(zhì)量流量計主要分為熱式質(zhì)量流量計、差壓式質(zhì)量流量計和科里奧利質(zhì)量流量計。不同種類的質(zhì)量流量計其工作原理也不一樣。