MKS質(zhì)量流量控制器

Granville-Phillips®475 Convectron®真空計控制器與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的275系列Convectron®真空計相結(jié)合，使用的熱導(dǎo)率變化提供高性能真空壓力測量。Convectron®真空計是對流增強型皮拉尼真空計，具有單獨校準(zhǔn)的真空計、溫度補償和對流技術(shù)，可在7個十年內(nèi)從1x10-4 Torr到大氣壓提高精度和可重復(fù)的真空測量。這些控制器設(shè)計用于275 Convectron®Pirani真空計。Granville-Phillips®Convectron®壓力計已成為世界標(biāo)準(zhǔn)的對流增強皮拉尼壓力計超過35年，并用于數(shù)千種真空工藝，以準(zhǔn)確測量從大氣壓到10-4 Torr的壓力。

①從1x10-4 Torr到大氣壓的真空壓力測量。

②用于臺式或面板安裝應(yīng)用的高性能緊湊型控制器。

③I/O選項包括模擬輸出、設(shè)定點繼電器和串行通信。

④N2、Ar、He、CO2和O2的預(yù)編程氣體曲線。

⑤用于簡化配置和參數(shù)設(shè)置的直觀菜單控制。

⑥符合RoHS和CE標(biāo)準(zhǔn)。

475系列Convectron控制器是符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)的第三代Convectron真空計控制器，它結(jié)合了堅固的可靠性和易于使用和系統(tǒng)集成的關(guān)鍵特性。它包括多項功能，例如自診斷、集成Convectron真空計模擬和內(nèi)置氣體曲線，可針對各種真空環(huán)境進行調(diào)整。475系列易于使用，具有高度可見的真空熒光顯示器(VFD)和直觀的前面板控件，無需特殊工具即可校準(zhǔn)真空計和調(diào)整真空測量參數(shù)。它可以用作基本真空系統(tǒng)控制的簡單讀數(shù)裝置，也可以集成到更復(fù)雜的控制系統(tǒng)中。475提供一系列控制I/O選項，包括模擬輸出、設(shè)定點繼電器和串行通信接口。

①寬測量范圍：真空系統(tǒng)壓力可以從1x10-4 Torr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)到大氣壓連續(xù)監(jiān)測。

②高測量分辨率：旨在充分利用Convectron Gauge技術(shù)，在大氣壓下分辨率為1 Torr（1 mbar，0.1 Pa），在低壓下分辨率為0.1 mTorr（1x10-4 mbar，1x10-2 Pa）。